| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 693-697 |
| Seitenumfang | 5 |
| Fachzeitschrift | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2012 |
Measuring doping profiles with spreading resistance profiling
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzartikel